我院参加NQI项目“纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范”实施方案论证会
发布日期:2018-09-29   浏览次数:191

    近日,中国计量科学研究院在北京组织召开国家重点研发计划项目NQI重点专项“纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范”项目实施方案论证会,来自北京航天航空大学、西安交通大学、中科院微电子所、中国计量科学研究院等国内科研企事业单位及重点院校的10多位专家参加会议,我院作为课题承担单位出席了此次会议。




    目前我国纳米计量量值传递体系尚不完善,纳米几何特征参量标准器存在不少空白,导致集成电路、新材料、环境、医学等行业相关产业中大量的纳米测量设备量值溯源依赖国外仪器生产商和检测机构,限制了我国先进制造业的发展。为此,中国计量科学研究院牵头我院、西安交通大学、西安微电子技术研究所、上海市计量测试技术研究院、苏州市计量测试院等14家企事业单位及高校承担该NQI专项项目。项目针对纳米几何特征量值传递体系的构建及产业应用等问题,研制从16nm到2000nm的一维、二维栅格和线宽等几何特征参量计量标准器,实现其高精度定值、校准和量值溯源,建立覆盖全国相关产业的全链条纳米几何量量值传递体系,面向集成电路、国防军工、先进制造和生物医药等典型产业开展应用示范。

    此次我院将与西安微电子技术研究所合作承担项目的子课题“纳米几何特征参量计量标准器在微电子集成电路产业应用示范”,在集成电路领域的应用示范开展研究,探索纳米计量标准扁平化量传体系的建立以及集成电路产业的应用示范,从根本上解决纳米标准器缺失和量传体系与产业脱节的问题,为我国相关行业建立产品自主研发能力、提升产品质量和国际竞争力提供技术支持。